Thiết bị đo khí độc NF3 XPS-7II Cosmos
1. Thiết bị đo khí độc NF3 XPS-7II Cosmos
Thiết bị đo khí độc NF3 XPS-7II Cosmos là thiết bị cầm tay được dùng để kiểm tra nồng độ của khí Nitrogen Trifluoride trong không khí.
ĐẶC ĐIỂM:
- Một máy XPS-7 duy nhất có thể được sử dụng cho nhiều loại khí bán dẫn, chỉ đơn giản bằng cách thay đổi cảm biến.
- Các cảm biến được thay thế theo kiểu băng cassette mà không cần hiệu chuẩn.
2. Thông số kỹ thuật máy đo dò khí độc NF3 XPS-7II Cosmos
Hướng dẫn sử dụng tiếng Anh: Tại đây (XPS-7 Manual) Hướng dẫn sử dụng tiếng Việt: Tại đây
Model | XPS-7II |
Nguyên lý đo | Pin điện hóa |
Loại khí đo | Các loại khí trong nhà máy sản xuất bán dẫn |
Phương pháp lấy mẫu | Hấp thụ |
Dải đo | Tùy theo thông số kỹ thuật của khí |
Độ phân dải | 1/100 toàn dải |
Sai số hiển thị | ±10% toàn dải |
Chế độ cảnh báo | Cảnh báo 2 cấp độ |
Hiển thị cảnh báo | Âm thanh, đèn nháy |
Thời gian tiếp xúc | 60s hoặc thấp hơn (60% tiếp xúc) |
Nhiệt độ làm việc | 0 đến 40°C |
Nguồn cấp | 4 pin x AA alkaline (*1) hoặc sử dụng bộ đổi nguồn AC |
Thời gian hoạt động*2 | Lên đến 12 giờ (dùng pin Ankan ở 20 độ C) |
Kích thước | W62 x H150 x D128mm (Không bao gồm phần nhô ra) |
Khối lượng | Xấp xỉ. 1.3kg |
Phụ kiện chính | Vòi lấy mẫu khí có đầu dò, dây đeo vai, Pin Ankan x 4, giấy lọc khí dự phòng |
Phụ kiện tùy chọn | Bộ đổi nguồn AC (100 VAC/6 VDC), sensor stocker, log data collection kit |
*1 Trong điều kiện đo giống hệt nhau. *2 Tuổi thọ pin có thể thay đổi theo điều kiện môi trường xung quanh, điều kiện sử dụng, thời gian lưu trữ, nhà sản xuất pin, v.v.
Danh sách khí đo (cảm biến)
Khí đo
|
Dải đo
|
Nguyên lý đo
|
Model No. |
5 / 25ppm
|
CDS-7
|
||
1ppm
|
|||
500ppb
|
|||
250ppb
|
|||
250ppb
|
|||
25ppm
|
|||
25ppm
|
|||
1ppm
|
|||
100ppm
|
|||
10ppm
|
|||
10ppm
|
|||
5 / 25ppm
|
|||
10ppm
|
|||
5ppm
|
|||
5ppm
|
|||
1ppm
|
|||
1ppm
|
|||
250ppm
|
|||
50ppm
|
|||
100ppm
|
điện hóa với pyrolyzer
|
||
100ppm
|
|||
500 / 1000ppm
|
Dây bán dẫn nhiệt
|
CHS-7
|
|
25vol%
|
COS-7
|
3. Vì sao cần đo khí NF3
Tiếp xúc da với NF3 không nguy hiểm, và nó là một chất kích ứng tương đối nhỏ đối với màng nhầy và mắt. Nó là một chất kích thích phổi có độc tính thấp hơn đáng kể so với các oxit nitơ , và tiếp xúc quá mức qua đường hô hấp gây ra sự chuyển đổi hemoglobin trong máu thành methemoglobin , có thể dẫn đến tình trạng methemoglobin huyết . Viện Quốc gia về An toàn và Sức khỏe Nghề nghiệp (NIOSH) chỉ định rằng nồng độ gây nguy hiểm ngay đến tính mạng hoặc sức khỏe (giá trị IDLH) là 1.000 ppm4. Video máy đo khí độc XPS-7 Cosmos
Acetone | Cyclohexane | Ethyl Acetate | n-Hexane |
Methanol | Propane | Toluene | Acetylene |
Cyclopentane | Ethyl Benzene | Hydrogen | Methyl Cyclohexane |
Propyl Acetate | o-Xylene | Benzene | DME (Dimethyl Ete) |
Ethylene | IPA | MIBK | Propylene |
m-Xylene | n-Butane | Ethane | Gasoiline |
MEK | n-Pentane | THF | p-Xylene |
i-Butane | Ethanol | n-Heptane | Methane |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.